广东微技术工业研究院

创新研发中试线

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特色工艺平台

作为扎根珠三角放眼全球的12英寸特色工艺平台，我们使用新技术、新方案、新模式，建设新一代半导体中试线。

1、建设集应用，设计，研发，制造，验证等能力于一体功能的中试线公共平台；

2、填补广东省制造工艺短板，并形成国内特色：55nm平台实现设备高国产化率，28nm平台实现HPC+最新技术的开发；

3、开发下一代技术：重点研究3年以上具有挑战性的创新研究，如先进3D封装技术、智能传感器技术，包括 CMOS +MEMS 集成技术，IMU和TMR传感器集成工艺技术。